アルバック

6728 ／ 日本基準 ／ 6月期
東証プライム電気機器一次資料ベース
収録 43 / 43 指標

下の「他の会社と比べる」で会社Bを選ぶと、ここに2社目が並び、グラフの系列と表の行が増えます。

当社グループは、当社、子会社34社、関連会社９社からなり、真空技術が利用されているさまざまな産業分野に多岐に渡る製品を生産財として提供している真空総合メーカーであります。有価証券報告書【事業の内容】より（2026年9月提出）

同業2社と並べて動かす半導体・液晶の製造装置の順位を再生

数字で見るアルバック

2025年度の売上収益は2,691億円で、売上収益を比べられる東証上場3,585社のうち529番目、電気機器225社のうち49番目の大きさです。2020年度から2025年度までの売上収益の年平均成長率は+8.0%です。平均年間給与は868.5万円（2025年度・提出会社単体）で、電気機器223社のうち37番目。平均年齢は44.8歳、平均勤続年数は17.8年です。

事業の大きさと稼ぐ力

売上収益2,691億円全体で上位15%（3,585社中）電気機器では49番目（225社中）2020→2025年度で年+8.0%（計算値）2025年度
当期利益171億円全体で上位13%（3,684社中）電気機器では44番目（225社中）2025年度
営業利益率逆算7.3%電気機器の中央値 6.8%（222社）2025年度
ROE7.4%電気機器の中央値 7.4%（224社）2025年度
自己資本比率58.2%電気機器の中央値 61.0%（225社）2025年度

働く人の数字

平均年間給与868.5万円全体で上位14%（3,658社中）電気機器では37番目（223社中）2020→2025年度で+18.9%（計算値）2025年度
平均年齢44.8歳電気機器の中央値 43.3歳（223社）2025年度
平均勤続年数17.8年電気機器の中央値 16.0年（223社）2025年度
従業員数(連結)5,613人電気機器の中央値 1,785人（225社）2020→2025年度で−7.4%（計算値）2025年度

順位は大きい順。平均年齢と平均勤続年数は大きいほうが良いとは言えないため、順位を付けずに業種の中央値と並べています。利益率・ROE・自己資本比率は業種による違いが大きいため、同じく業種の中央値と並べています。 平均年間給与・平均年齢・平均勤続年数は提出会社（単体）ベース、従業員数は連結ベースです。評価・推奨ではありません。

他の会社と比べる

会社Bを選ぶと、下のグラフ・事業の構成・推移表に2社目が並びます。会社Aを変えると、そのままほかの会社のページに切り替わります。

入力は収録済みの企業一覧との照合にのみ使われます。

アルバックと同業2社を、ダッシュボードで並べるアズビル・フェローテックと、売上・営業利益・平均年間給与などの推移を重ねて比べられます

▶ 半導体・液晶の製造装置業界の上場企業の順位の入れ替わりを再生する →

01

業績の推移

指標を選ぶとグラフが入れ替わります。会社Bを入れると系列が2本になります。

▶ アズビル・フェローテックと3社で重ねる（決算ダッシュボード）→

02

事業の構成と内容

有価証券報告書【セグメント情報等】からの売上構成比。会社Bを入れると横に並びます。

アルバックの事業の内容（有価証券報告書の記載）

当社グループは、当社、子会社34社、関連会社９社からなり、真空技術が利用されているさまざまな産業分野に多岐に渡る製品を生産財として提供している真空総合メーカーであります。

事業内容は、真空技術を基盤として、真空装置・機器やサービスを提供する真空機器事業と真空技術の周辺技術を基盤として、主に材料や表面分析装置等を提供する真空応用事業に区分できます。

各々の事業区分ごとの主要製品は下表のとおりであります。

事業区分 ／ 主要製品

真空機器事業 ／ 半導体及び電子部品製造装置 ／ スパッタリング装置、真空蒸着装置、エッチング装置、イオン注入装置、アッシング装置、各種CVD装置、ウェーハ前処理（自然酸化膜除去等）装置、超高真空装置他

ディスプレイ・エネルギー関連製造装置 ／ スパッタリング装置、プラズマCVD装置、真空蒸着装置、巻取式真空蒸着装置、巻取式スパッタリング装置他

コンポーネント ／ 真空ポンプ（ドライポンプ、メカニカルブースタポンプ、油回転ポンプ、クライオポンプ、ターボ分子ポンプ、イオンポンプ、油拡散ポンプ）、真空計、リークディテクタ、ガス分析計、成膜用電源、蒸着用蒸発源、成膜コントローラ、真空バルブ、真空搬送ロボット、極低温機器、各種真空部品他

一般産業用装置 ／ 真空溶解炉、真空熱処理炉、真空焼結炉、真空ろう付炉、凍結真空乾燥装置、リークテスト装置他

真空応用事業 ／ 材料 ／ スパッタリングターゲット材料、蒸着材料、チタン・タンタル加工品、高融点活性金属（Ta、Nb、W、Mo）他

その他 ／ Ｘ線光電子分光分析装置、走査型オージェ電子分光分析装置、飛行時間型二次イオン質量分析装置、四重極型二次イオン質量分析装置、半導体・FPD用マスクブランクス、受託成膜加工他

なお、上記の真空機器事業と真空応用事業の区分と「第５ 経理の状況 １ 連結財務諸表等（１）連結財務諸表 注記事項（セグメント情報等）」に掲げるセグメントの区分は同一であります。

また、当社企業集団の主要製品の概要は、次のとおりであります。

主要製品 ／ 概要

スパッタリング装置 ／ 真空中で金属やシリサイドなどの金属の材料に、高エネルギーのアルゴン原子をぶつけ、それに叩かれ飛び出してくる金属原子を付着させて成膜する装置。

ＣＶＤ装置 ／ つくる薄膜の種類に応じて原料をガス状態で供給し、下地膜の表面における化学触媒反応によって膜を堆積させる装置。

エッチング装置 ／ 真空中に被エッチング材料を入れ、その材料に合わせてエッチングガスを導入しプラズマ化し、エッチング種が被エッチング材料に吸着されると表面化学反応を起こし、エッチング生成物を排気除去する装置。

真空蒸着装置 ／ 真空中で特定の物質を熱し、そこから蒸発する原子や分子をより温度の低い面に凝縮させて、表面に膜を形成する装置。

真空熱処理炉 ／ 真空中で各種金属の焼入、ろう付、焼戻、容体化、時効、磁性処理等を行う装置。

以上のような装置により、スマートフォン、PC、タブレット、スマート家電、テレビ、自動車等の最終製品を構成するエレクトロニクス部品等が生み出されております。

また、主な各々の事業区分ごとの事業の流れは以下のとおりです。

出典：有価証券報告書【事業の内容】（2026年9月提出・S100Z3KY）。事業系統図は省いています。

03

アルバックのグループの関係

親会社と、主な子会社・関連会社。有価証券報告書の【関係会社の状況】から作っています。上場している会社は、その会社の有報の数字を並べています。

上場している子会社・関連会社（1社）

  • 昭和真空持分法適用関連会社・機械議決権 21.5%

    売上
    93億円
    営業利益
    11億円
    従業員
    215人
    平均年間給与
    665万円

数字は各社の有価証券報告書の最新の年度。従業員は連結、平均年間給与はその会社単体。議決権はアルバックの【関係会社の状況】の値（間接所有を含む）。

主な子会社の業績

2026年度

  • ULVAC KOREA,Ltd.

    売上
    437億円
    経常利益
    19億円
    当期純利益
    16億円
    純資産
    136億円

連結売上の10％を超える子会社は、有価証券報告書【関係会社の状況】の注記に損益が載ります。子会社単体の数字で、グループ内の取引を含みます。円以外の通貨で書かれたものは載せていません。

真空機器事業

売上 2,108億円・利益 152億円・従業員 4,132人

  • アルバックテクノ㈱100.0%
  • アルバック機工㈱100.0%
  • アルバック販売㈱100.0%
  • ULVAC Technologies,Inc.100.0%
  • ULVAC KOREA,Ltd.．６100.0%
  • ULVAC TAIWAN INC.100.0%
  • アルバック・クライオ㈱50.0%
  • ULVAC SINGAPORE PTE LTD92.8%
ほか9社
  • 愛発科真空技術(蘇州)有限公司100.0%
  • 愛発科東方真空(成都)有限公司65.0%
  • 愛発科東方検測技術(成都)有限公司65.0%
  • 愛発科真空技術(沈陽)有限公司100.0%
  • Pure Surface Technology,Ltd.100.0%
  • ULVAC CRYOGENICS KOREA INCORPORATED50.0%
  • ULTRA CLEAN PRECISION TECHNOLOGIES CORP.100.0%
  • 愛発科商貿(上海)有限公司100.0%
  • 愛発科真空設備(上海)有限公司100.0%

真空応用事業

売上 584億円・利益 43億円・従業員 838人

  • アルバック・ファイ㈱100.0%
  • 愛発科自動化科技(上海)有限公司57.5%
  • Physical Electronics USA,Inc.100.0%
  • 愛発科(中国)投資有限公司100.0%
  • アルバック成膜㈱65.0%
  • ULCOAT TAIWAN,Inc.65.0%
  • 愛発科成膜技術(合肥)有限公司67.7%
  • 愛発科費恩斯(南京)儀器有限公司100.0%

連結子会社 25社（有報に社名が載る主な会社は25社）。持分法適用関連会社など 4社。事業ごとの売上・利益・従業員は【セグメント情報】と【従業員の状況】（2025年度）。子会社の割合は議決権の所有割合（間接所有を含む）。上場していない子会社の売上・利益が載るのは連結売上の10％を超える会社だけで、従業員数と平均年間給与は有価証券報告書に載りません。

04

中期経営計画

会社が開示資料に書いたことを、そのまま引用しています。評価・予想・推奨は含みません。

中期経営計画

一次資料ベース

「指標2025年６月期実績（参考）2028年６月期中間目標2031年６月期目標売上高2,512億円2,600億円3,600億円半導体電子関連ビジネス売上高構成比※36％45％60％以上営業利益265億円390億円790億円営業利益率10.6％15％22％半導体電子関連ビジネス※11.6％19％25％ROE（自己資本利益率）7.5％10％16…」

有価証券報告書【経営方針、経営環境及び対処すべき課題等】より

05

株主と配当

配当の方針、株主優待、大株主を、有価証券報告書の記載のまま並べています。評価・推奨ではありません。

アルバックの配当政策

当社は株主の皆様への利益配分を最も重要な政策の一つと認識しております。一方で、当社は設備投資動向の変動・技術革新の著しい業界にあり、成長領域への十分な研究開発投資や戦略投資の資金を確保するとともに、安定的財務基盤を構築することも勘案した結果、株主の皆様への利益還元につきましては、連結配当性向35％以上を目途とした業績連動型配当を実施する方針としております。

当社は、期末配当による年１回の剰余金の配当を行うことを基本方針としております。この剰余金の配当の決定機関は株主総会であります。

当期（2026年６月期）の配当につきましては、上記の方針に基づき、１株につき152円の期末配当を予定しております。なお、当該期末配当は、2026年９月29日開催予定の定時株主総会の決議事項となっております。

有価証券報告書【配当政策】より（2026年9月提出）

1株配当と配当性向

アルバックの1株配当と配当性向の推移
年度1株配当（円）配当性向（%）
20209536.1
202112432.7
202210943.5
202314449.3
202416457.5
202515277.8

有価証券報告書【主要な経営指標等の推移】より。株式分割をした年は、有報の1株配当が分割の前後で遡って直されていないため、前の年と並べて比べられません。

アルバックの株主優待

2026年9月提出の有報

「株主に対する特典」は「該当事項はありません。」と記載されています。

有価証券報告書【提出会社の株式事務の概要】「株主に対する特典」の記載です。提出日時点の内容で、その後に変わっていることがあります。最新の内容は会社の発表で確かめてください。

アルバックの大株主（上位10名）

2026年6月末
アルバックの大株主
順位株主持株比率（%）
1日本マスタートラスト信託銀行株式会社（信託口）15.40
2株式会社日本カストディ銀行（信託口、信託口４、信託E口、年金特金口、信託A口、信託B口、年金信託口）10.01
3BBH (LUX) FOR FIDELITY FUNDS-GLOBAL TECHNOLOGY POOL7.48
4日本生命保険相互会社6.57
5STATE STREET BANK AND TRUST COMPANY 5050013.63
6JPモルガン証券株式会社2.75
7STATE STREET BANK AND TRUST COMPANY 5051031.77
8THE BANK OF NEW YORK MELLON 1400441.47
9JP MORGAN CHASE BANK 3857811.46
10株式会社みずほ銀行1.29

有価証券報告書【大株主の状況】より。持株比率は、発行済株式（自己株式を除く）に対する割合です。上位10名の合計は51.83%。信託銀行の名義には、投資信託や年金などの資金がまとめて入っています。

06

主要な指標の推移（最大14期）

表示する指標をチェックで選べます。逆算 が付く指標は、開示値から計算したものです。

表示する指標を選ぶ（5 / 47）閉じる

選択中 5 指標 ／ 候補 47 指標（有価証券報告書・決算説明資料・逆算）

損益

財務

資本効率

キャッシュ

株主還元

人的資本

投資

← 横にスクロールできます →

主要な指標の推移
指標20122013201420152016201720182019202020212022202320242025
売上収益億円1,6341,7391,7921,9242,3182,4932,2071,8541,8302,4132,2752,6112,5122,691
営業利益億円———179295354238160172301199298265196
営業利益率%———9.312.714.210.88.69.412.58.811.410.67.3
当期利益億円-3811589167245359187108151202142202167171
EPS円-87.8223.2172.7338.4496.4728.7378.8218.5305.8410.4287.7410.7338.7347.4

空欄は「未収録」です。会社が開示していないか、まだ読み込んでいないかのどちらか。推計値では埋めません。

推移は、有価証券報告書の冒頭にある【主要な経営指標等の推移】から5期分ずつ取っています。売上高・経常利益・純利益・純資産・総資産・自己資本比率・1株情報・従業員数などが1つの表に並んでいるので、3期分の有報で最大14期そろいます。

07

人的資本

有価証券報告書の【従業員の状況】から取れる数字と、そこからの逆算。投資の観点でも、企業研究の観点でも同じ表を見ることになります。

1人当たり売上高47.9百万円2025年度・逆算
1人当たり営業利益3.5百万円2025年度・逆算
平均年齢44.8歳2025年度
平均勤続年数17.8年2025年度

平均年間給与は提出会社（単体）ベースです。連結全体の数字ではありません。従業員数は連結ベースなので、この2つは母集団が違います。割り算をするときはその点に注意してください。

アルバックの女性管理職比率・男性の育休取得率・男女の賃金の差異

女性管理職比率6.8%2025年度業種の中央値 5.1%（電気機器179社）2023：4.8　2024：5.5　2025：6.8
男性の育児休業取得率51.5%2025年度業種の中央値 83.0%（電気機器170社）2023：30.2　2024：69.6　2025：51.5
男女の賃金の差異66.3%2025年度業種の中央値 71.6%（電気機器184社）2023：59.1　2024：63.1　2025：66.3
女性役員比率9.1%2025年度業種の中央値 15.2%（電気機器200社）2022：10.0　2023：10.0　2024：9.1　2025：9.1役員11名のうち女性1名

女性管理職比率・男性の育児休業取得率・男女の賃金の差異は、2023年3月期の有報から【従業員の状況】に載るようになった数字です。提出会社（単体）の値で、公表の義務が無い会社は記載していないことがあります。

男女の賃金の差異は、男性の平均賃金を100としたときの女性の平均賃金です。職種や役職の構成の違いを含んだ平均どうしの比べなので、同じ仕事の賃金の差ではありません。男性の育児休業取得率は、その年度に配偶者が出産した人の数で割るため、100%を超えることがあります。

08

会社の概要と沿革

代表者
代表取締役会長 岩下 節生
本店の所在地
神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地
決算期
6月
市場・業種
東証プライム ／ 電気機器
役員
11名（うち女性1名）

有価証券報告書の表紙と【役員の状況】より（2026年9月提出）。

アルバックの沿革

  1. 当社は、1952年米国NRC Equipment Corporationと技術提携を前提とした総代理店契約を結び各種真空装置の輸入販売を目的として創業いたしました。
  2. 創業後の主要事項は次のとおりであります。
  3. 1952年8月各種真空装置の輸入販売を目的として、日本真空技術株式会社（資本金６百万円）を創業。
  4. 1955年4月大森工場を新設し、国産装置の製造に着手。
  5. 1956年11月株式会社東洋精機真空研究所を合併し、尼崎工場として真空化学装置及び真空ポンプ等の規格品の製造に着手。
  6. 1959年4月本社及び大森工場を横浜市に移転。
  7. 1961年7月真空技術の基本を応用し、真空冶金事業を開始。
  8. 1962年9月真空材料株式会社（商号変更 アルバックマテリアル㈱）を設立、耐火材料の販売を開始。
  9. 1962年10月熱分析機器の専門メーカーとして真空理工株式会社（現・アドバンス理工㈱）を設立。
  10. 1963年10月新生産業株式会社（1929年９月20日創立）に吸収合併されると共に、同日社名を日本真空技術株式会社と改称し、旧日本真空技術株式会社の事業内容を継続。
  11. 1964年1月外国事業部リライアンス部を分離し、米国Reliance Electric and Engineering Co.と共同出資で日本リライアンス株式会社（現・㈱ＲＥＪ）を設立。
  12. 1964年7月香港万豊有限公司と共同出資で合弁会社Hong Kong ULVAC Co.,Ltd.を設立。
  13. 1966年4月真空冶金事業部を分離し、真空冶金株式会社を設立。
  14. 1968年5月本社及び横浜工場を茅ヶ崎市に移転。
沿革の続き（あと99件・2026年まで）
  1. 1970年7月専売特約店の三和アルバック販売株式会社（商号変更 アルバック東日本㈱）を設立。
  2. 1971年7月小型真空ポンプの専門メーカーとして真空機工株式会社（現・アルバック機工㈱）を設立。
  3. 1972年7月超材料研究所を千葉県に新設。
  4. 1975年12月対米輸出の拠点として北米に現地法人ULVAC North America Corp.(現・ULVAC Technologies, Inc.)を設立。
  5. 1977年1月九州地区の営業活動の拡大のために九州アルバック株式会社（商号変更 アルバック九州㈱）を設立。
  6. 1979年1月サービス事業部を分離し、アルバックサービス株式会社を設立。 SI事業部を分離し、アルバック成膜株式会社を設立。
  7. 1981年10月米国Helix Technology Corp.と共同出資でアルバック・クライオ株式会社を設立。
  8. 1982年1月台湾台北市にULVAC TAIWAN Co.,Ltd.（現・ ULVAC TAIWAN INC.）を設立。
  9. 1982年11月米国The Perkin Elmer Corp.と共同出資でアルバック・ファイ株式会社を設立。
  10. 1982年12月茨城県筑波学園都市（現つくば市）市内に筑波超材料研究所を設立。
  11. 1983年2月中国北京市に北京事務所を開設。
  12. 1985年3月核融合臨界プラズマ実験装置「JT-60」の真空排気系を納入。
  13. 1985年4月関西の拠点工場としてアルバック精機株式会社を設立。
  14. 1987年1月大型装置の生産体制強化のため、青森県八戸市に東北真空技術株式会社（商号変更 アルバック東北㈱）を設立。
  15. 1987年2月欧州地区のサービス体制強化のため、西独にULVAC GmbHを設立。
  16. 1987年5月グループ会社支援のため、株式会社アルバック・コーポレートセンターを設立。
  17. 1987年9月英文社名をULVAC JAPAN,Ltd.と変更。
  18. 1988年10月真空ポンプの量産体制確立のため、鹿児島に九州真空技術株式会社を設立。
  19. 1990年5月半導体製造装置の生産体制強化のため静岡県裾野市に富士裾野工場を新設。
  20. 1991年12月九州真空技術㈱がアルバック精機㈱を合併し、アルバック精機㈱に商号変更。
  21. 1992年4月資本金12億10百万円より38億30百万円に増資。
  22. 1992年6月資本金38億50百万円に増資。
  23. 1994年10月アルバックサービス㈱がアルバックマテリアル㈱を合併し、アルバックテクノ㈱に商号変更。
  24. 1995年5月韓国ソウル市に、ULVAC KOREA,Ltd.を設立。
  25. 1995年9月中国に寧波中策動力機電集団有限公司と合弁で寧波愛発科真空技術有限公司を設立。
  26. 1996年11月真空装置の生産能力拡充のため、東北真空技術㈱、アルバック九州㈱鹿児島事業所にクリーン工場を増設。
  27. 1998年1月シンガポールCSセンター、台湾新竹R&Dセンターを開設し、アジアのネットワークを拡大。
  28. 2000年4月台北五股サービスセンターを開設。
  29. 2000年8月ULVAC KOREA,Ltd.に生産工場として平澤工場を設置。
  30. 2001年5月寧波愛発科真空技術有限公司に新工場を設置。
  31. 2001年7月株式会社アルバック（英文社名ULVAC,Inc.）に商号変更。
  32. 2001年11月カスタマーサポート強化のためULVAC TAIWAN INC.桃園CIP工場を設置。
  33. 2002年1月カスタマーサポート体制の充実のためULVAC SINGAPORE PTE LTDを設立。
  34. 2002年7月アルバック東日本㈱が高山アルバック㈱を合併し、アルバック イーエス㈱（現・アルバック販売㈱）に商号変更。
  35. 2002年12月米国Physical Electronics USA,Inc.が保有するアルバック・ファイ㈱株式（50％）を取得し、100％子会社化。
  36. 2003年3月米国RELIANCE ELECTRIC COMPANYより日本リライアンス㈱株式（31％）を取得し、持分を81％に引き上げ。
  37. 2003年5月アルバック東北㈱、アルバックテクノ㈱、UMAT㈱による機械加工、表面処理、精密洗浄の一貫工場を東北に設置。
  38. 2003年7月中国における本格的生産工場とCSソリューション工場として愛発科真空技術（蘇州）有限公司を設立。
  39. 2003年8月工業用インクジェット装置を製造・販売しているLitrex Corporationの株式50％を取得。
  40. 2004年4月東京証券取引所市場第１部に株式を上場。 資本金38億50百万円より81億円に増資。
  41. 2004年5月資本金81億円より89億50百万円に増資。
  42. 2004年7月韓国にULVAC KOREA,Ltd.とアルバック東北㈱が共同出資で大型基板真空用部品の製造を目的としたUlvac Korea Precision,Ltd.を設立。 韓国にULVAC KOREA,Ltd.と真空冶金㈱が共同出資で成膜装置用部品の表面処理を目的としたPure Surface Technology,Ltd.を設立。
  43. 2004年8月中国に日本リライアンス㈱、啓電実業股份有限公司と共同出資で制御盤及び自動制御駆動装置の製造、販売を目的とした愛発科啓電科技（上海）有限公司（現・愛発科自動化科技（上海）有限公司）を設立。
  44. 2004年12月資本金89億50百万円より134億68百万円に増資。
  45. 2005年1月中国にアルバック機工㈱と江蘇宝驪集団公司と共同出資で真空ポンプ用部品の製造、販売を目的とした愛発科天馬電機（靖江）有限公司を設立。 中国に沈陽中北真空技術有限公司と共同出資で真空炉の製造、販売を目的とした愛発科中北真空（沈陽）有限公司を設立。 成都東方愛発科真空技術有限公司を子会社化し、愛発科東方真空（成都）有限公司に商号変更。
  46. 2005年4月真空冶金㈱がUMAT㈱を合併し、アルバックマテリアル㈱に商号変更。 フラットパネルディスプレイ事業拡大のため、富士通ヴィエルエスアイ㈱より設備事業譲受。
  47. 2005年6月ULVAC KOREA,Ltd.に生産拡大のため玄谷工場を増設。 アルバック機工㈱宮崎事業所に小型真空ポンプの評価、検証を目的とした信頼性評価センターを設置。
  48. 2005年11月英国Cambridge Display Technology Limitedが保有するLitrex Corporation株式（50％）を取得し100％子会社化。 タイに販売やフィールドサポートを目的としたULVAC (THAILAND) LTD.を設立。
  49. 2005年12月台湾にフラットパネルディスプレイ製造装置などの製造を目的としたULVAC Taiwan Manufacturing Corporationと、部品加工や部品洗浄などフィールドサポートを目的とした ULTRA CLEAN PRECISION TECHNOLOGIES CORP.を設立。
  50. 2006年3月中国における子会社の管理統括等を目的とした愛発科（中国）投資有限公司を設立。
  51. 2006年4月台湾に制御盤等の製造を目的としたULVAC AUTOMATION TAIWAN Inc.を設立。
  52. 2006年7月韓国に研究開発を目的としたULVAC Research Center KOREA，Ltd.を設立。
  53. 2006年7月台湾に研究開発を目的としたULVAC Research Center TAIWAN，Inc.を設立。
  54. 2006年8月精密ステージを製造・販売しているシグマテクノス㈱の株式（70％）を取得。
  55. 2006年8月マレーシアに販売やフィールドサポートを目的としたULVAC MALAYSIA SDN.BHD.を設立。
  56. 2006年9月神奈川県茅ヶ崎市に真空装置部品の表面処理を目的とした、アルバックテクノ㈱ケミカルセンターを新設。
  57. 2006年9月宮崎県西都市に小型真空ポンプの生産集約化を目的として、アルバック機工㈱宮崎事業所を増 設。
  58. 2006年11月愛知県春日井市にフラットパネルディスプレイ製造装置の生産能力拡充のため、愛知工場を新設。
  59. 2007年6月インドビジネス拡大のため、ULVAC,Inc.India Branch.を設立。
  60. 2007年9月埼玉県日高市に大型の精密ステージの製造・販売するためシグマテクノス㈱本社工場を新設。
  61. 2007年11月啓電実業股份有限公司の持株譲渡に伴い愛発科啓電科技（上海）有限公司を愛発科自動化科技(上海）有限公司に商号変更。
  62. 2008年2月開発委託設計を目的としたアルバック ワイ・エム・イー㈱（商号変更 アルバックエンジニアリング㈱）を設立。
  63. 2008年7月フィールドサポートを専門とした、アルバックヒューマンリレーションズ㈱を設立。
  64. 2008年8月台湾における経営の合理化などを目的としてULVAC TAIWAN INC.を存続会社とし、ULVAC Taiwan Manufacturing Corporationと合併。
  65. 2008年8月韓国にスパッタリングターゲットの製造及びボンディングを目的とした、ULVAC Materials Korea,Ltd.を設立。
  66. 2008年10月スパッタリングターゲット材の効率的な生産と開発体制の強化を目的として、アルバックマテリアル㈱から当社へ事業を移し、洗浄事業のサポート体制の充実を目的として、アルバックテクノ㈱とアルバック九州㈱へ事業譲渡。
  67. 2009年4月中国にスパッタリングターゲットの製造及びボンディングを目的とした、愛発科電子材料（蘇州）有限公司を設立。
  68. 2009年4月中国にタッチパネルの製造などを目的とした愛発科豪威光電薄膜科技（深圳）有限公司を設立。
  69. 2009年6月ディスプレイ事業を東アジアで機動的に事業展開するため、Litrex Corporationを解散し、当社にて同事業を継続。
  70. 2009年12月中国に研究開発を目的とした愛発科（蘇州）技術研究開発有限公司を設立。
  71. 2010年1月資本金134億68百万円より208億73百万円に増資。
  72. 2010年3月研究開発強化のため、富里工業団地に千葉超材料研究所を新設移設。
  73. 2010年10月当社がアルバックマテリアル㈱を吸収合併、アルバック九州㈱のサービス、洗浄、表面処理事業をアルバックテクノ㈱に事業譲渡。また、アルバック九州㈱がアルバック精機㈱を吸収合併。
  74. 2011年7月韓国の研究開発強化のため、ULVAC Research Center KOREA，Ltd.を解散し、ULVAC KOREA,Ltd.の付属研究所として韓国超材料研究所を設立。
  75. 2012年6月㈱アルバック・コーポレートセンターを解散し、当社にて同事業を継続。
  76. 2012年7月販売体制強化のため、アルバック イーエス㈱をアルバック販売㈱に商号変更。
  77. 2012年9月シグマテクノス㈱を解散。
  78. 2013年10月日本リライアンス㈱の一部株式（80％相当）を㈱高岳製作所へ譲渡。
  79. 2014年5月ULVAC Research Center TAIWAN，Inc.を解散し、ULVAC TAIWAN INC.にて同事業を継続。
  80. 2014年6月中国に輸入部品の保税扱いでの仕入れ、販売のため、愛発科真空設備（上海）有限公司を設立。
  81. 2014年12月アルバック理工㈱（現・アドバンス理工㈱）の全株式を㈱チノーへ譲渡。
  82. 2015年1月アルバックエンジニアリング㈱を解散。
  83. 2016年12月沈陽中北真空技術有限公司が保有する愛発科中北真空（沈陽）有限公司の株式（25％）を取得し、100％子会社化。
  84. 2017年9月100％子会社化に伴い、愛発科中北真空（沈陽）有限公司を愛発科真空技術（沈陽）有限公司に商号変更。
  85. 2018年7月中国にフラットパネルディスプレイ用マスクブランクス事業の生産、販売を目的とした愛発科成膜技術（合肥）有限公司を設立。
  86. 2018年10月寧波愛発科真空技術有限公司が第三者割当増資を実施。
  87. 2019年1月日本リライアンス㈱を㈱ＲＥＪに商号変更。
  88. 2021年2月愛発科豪威光電薄膜科技（深圳）有限公司を解散。
  89. 2021年5月Pure Surface Technology,Ltd.がULVAC Materials Korea,Ltd.、Ulvac Korea Precision,Ltd.、UF TECH,Ltd.を吸収合併。
  90. 2021年7月アルバックヒューマンリレーションズ㈱の全株式を㈱マイスティアへ譲渡。
  91. 2021年8月中国にリークテスト装置の生産、販売を目的とした愛発科東方検測技術（成都）有限公司を設立。
  92. 2022年4月東京証券取引所の市場区分見直しにより、東京証券取引所の市場第一部からプライム市場に移行。
  93. 2022年6月㈱ＲＥＪの全株式をアイダエンジニアリング㈱へ譲渡。
  94. 2022年7月当社がアルバック東北㈱、アルバック九州㈱を吸収合併。
  95. 2023年11月中国に表面分析装置の販売、カスタマーサポートを目的とした愛発科費恩斯（南京）儀器有限公司を設立。
  96. 2024年5月韓国に製品・技術開発の加速、コラボレーションと技術サポートの強化を目的としたTechnology Center PYEONGTAEKを新設。
  97. 2025年7月アルバックテクノ株式会社が当社の完全子会社であるタイゴールド株式会社を吸収合併。
  98. 2026年3月ULVAC MALAYSIA SDN.BHD.を解散。
  99. 2026年6月愛発科電子材料（蘇州）有限公司の全出資持分を北京豊科晶晟電子材料有限公司へ譲渡。

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